1. Тонкая механическая обработка деталей
Когда точность обработки мелких деталей находится в нанометров, и, наконец, в атомных единицах (атомное расстояние решетки составляет 0,1-0,2 нанометров), методы резки ультра-тонких частей больше не могут быть адаптированы. Необходимо опираться на специальные методы обработки мелких деталей, то есть применение химической энергии. , Электрохимическая энергия, тепловая энергия или электрическая энергия и т.д., делают эти энергии превосходят связующей энергии между атомами, с тем чтобы удалить адгезии, связи или решетки деформации между местными атомами на поверхности заготовки, с тем чтобы достичь цели ультра-тонкой обработки. Этот тип обработки включает механохимическую полировку, ионную распыление и ионную имплантацию, облучение электронным лучом, обработку лазерного луча, испарение металла и эпитаксис молекулярного луча.
2. Резка мелких механических деталей
В основном включает в себя тонкий поворот, зеркальное шлифовка и шлифовка. Микро-поворот выполняется на тонком десятину с высокоточным одним кристаллом алмаза поворотный инструмент. Толщина резки составляет всего около 1 микрона. Он часто используется для обработки цветных металлических материалов, таких как сферические поверхности, асферические зеркала военной поверхности и другие высокоточные детали с высокоглянцевой поверхностью. . Например, асферное зеркало диаметром 800 мм для установки ядерного синтеза имеет максимальную точность 0,1 микрона и поверхностную шероховатость микрон Rz 0.05.
